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JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镜

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广受好评的JSM-7610F的光学系统经过改进,实现了分辨率(15kV 0.8nm、1kV 1.0nm)的进一步提升,以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统,能提供稳定的高空间分辨率观察和分析。

此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。主要特点如下:

◇ 半浸没式物镜

半浸没式物镜在样品周围形成强磁场,因而可以获得超高分辨率。

 

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◇ High Power Optics

High Power Optics 是独特的电子光学系统,既实现了高倍率观察又能进行多种分析。

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浸没式肖特基场发射电子枪,可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪(FEG)的探针电流,最佳光阑角控制镜(ALC)在探针电流增大时也能保持小束斑,两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统,从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物镜光阑而不需要改换。

 

浸没式肖特基场发射电子枪銃   

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浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合,可以有效地收集从电子枪内发射的电子。

最佳光阑角控制镜(ACL)

最佳光阑角控制镜(ACL)配置在物镜的上方,在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此,即使照射样品的探针电流很大,与传统方式相比,也能获得很小的电子束斑。

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即使探针电流很大,束斑直径也很小

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长时间分析时稳定度也很高

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◇ 柔和电子束(GB:GENTLEBEAMTM)模式


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GB 模式的效果

GB 模式在低电压下提高分辨率

左图一般模式,右图GB模式

 

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增强了的低加速电压下的分辨率


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◇ r-过滤器


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◇ LABE检测器(选配件)


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利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像


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◇ 扩展性

 

能谱仪(EDS)


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波谱仪(WDS)


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阴极荧光系统(CL)

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技术参数

二次电子像分辨率

0.8 nm(加速电压 15 kV),1.0 nm(加速电压 1 kV )
分析时 3.0 nm (加速电压 15 kV, WD 8 mm, 探针电流 5 nA )

 

倍率

Direct magnification:  x25 to 1,000,000(120 x 90 mm)
Display magnification:  x75 to 3,000,000(1,280 x 960 pixels)

 

加速电压

0.1 ~ 30 kV

 

探针电流

数 pA ~ 200 nA

 

电子枪

浸没式肖特基场发射电子枪

 

透镜系统

聚光镜(CL)、  最佳光阑角控制镜(ACL)、  半浸没式物镜(OL)

 

样品台

全对中测角样品台、5轴马达驱动

 

电子检测器系列

高位检测器、 r‐过滤器 内置、  低位检测器

 

自动功能

自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节

 

图像观察用
液晶显示器

屏幕尺寸 23英寸宽屏
 最大分辨率 1,920 × 1,080像素

 

抽真空系统

电子枪室/中间室 SIP 离子泵
样品室 TMP 分子泵


 

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